目前广泛应用于各种射频电路中的贴片电容因其尺寸和电容量均较小，没有比较合适的射频段测试仪器。我们应用微波网络理论分析后，自行设计共面波导作为测试夹具，利用射频矢量网络分析仪在高频至射频波段（300M～3000MHz）对射频陶瓷贴片电容（尺寸约2.00mm×1.26mm×0.67mm，电容量0.5～7.5pF）进行了扫频测量。
网络分析仪测量并结合一定的校准方法（TRL）可算出电容的散射参数S21o由微波网络理论可知：
贴片电容
取Z的虚部（电抗）X，运用实验数据处理中的最小二乘法并由（1）式知，X的拟合模型为L-1/C。通过一系列频点？i的测试计算数据Xi（i=1，2，。，n），寻找最优的参数L和C使得：
贴片电容
采用扫频法测量阻抗值并用最小二乘法拟合计算，不仅可以得出电容值，还可以得出等效串联电感和电阻（由于生产厂家没有给出相应的标称值进行比较，这里不再列出）。
应注意扫频带宽不宜过大，否则会因贴片电容电容器内电介质的色散而使电容值有一定的变化，通常可在3G的频宽内测量。
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