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薄膜电阻的结构

2022年01月19日16:58 

可以看出,薄膜电阻具有最佳温度敏感沉积层厚度,但最佳薄膜厚度产生的电阻值严重限制了可能的电阻范围。薄膜电阻稳定性的老化过程不同,因为达到不同电阻值所需的薄膜厚度不同,所以在整个电阻范围内是可变的。这种化学/机械老化还包括电阻合金的高温氧化。此外,改变最佳膜厚将严重影响TCR。由于较薄的沉积层更容易氧化,高电阻薄膜的电阻退化率非常高。1%普通电阻的TCR系数在几千ppm/°C的范围内。


可以看出,薄膜电阻具有最佳温度敏感沉积层厚度,但最佳薄膜厚度产生的电阻值严重限制了可能的电阻范围。因此,通过使用不同的沉积层厚度,可以实现不同的电阻范围。薄膜电阻的稳定性受温升的影响。薄膜电阻稳定性的老化过程不同,因为达到不同电阻值所需的薄膜厚度不同,所以在整个电阻范围内是可变的。这种化学/机械老化还包括电阻合金的高温氧化。此外,改变最佳膜厚将严重影响TCR。由于较薄的沉积层更容易氧化,高电阻薄膜的电阻退化率非常高
TCR是一个不可忽略的小参数。其单位为ppm/℃(温度变化引起的电阻值每摄氏度变化百万分之一)。1%普通电阻的TCR系数在几千ppm/°C的范围内。总电阻值的变化与电阻的材料、实际功率和物理尺寸有关
厚膜电阻取决于玻璃基质中颗粒之间的接触以形成电阻。这些触点构成一个完整的电阻,但运行中的热应变会中断触点。由于在大多数情况下并联,厚膜电阻不会开路,但电阻值会随着时间和温度的升高而继续增加。因此,与其他电阻技术相比,厚膜电阻的稳定性较差(时间、温度和功率)
薄膜电阻的物理结构决定了其电流特性。由于结构中电荷串的运动,颗粒结构也会使厚膜电阻器产生高噪声。在一定尺寸下,电阻值越高,金属成分越少,噪声越大,稳定性越差。厚膜电阻结构中的玻璃成分在电阻加工过程中形成玻璃相保护层,因此厚膜电阻的防潮性高于薄膜电阻。

摘自:http://www.sznse.com/Article/bmdzdjg.html

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